○ 非接觸式、無損測量

激光掃描顯微鏡（LSM）采用低功率激光，不接觸樣品。因此，不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測量儀那樣存在損壞樣品的風險。

○ 無需前期準備即可成像

掃描電子顯微鏡（SEM）在觀察之前需要進行前期的樣品準備，如真空脫水和/或切片處理，使之適合樣品室。而LSM則無需前期的樣品準備即可對樣品進行測量。而且，將樣品放置在載物臺上之后，即可直接開始成像。

○ 在XY平面精確測量亞微米級的距離

干涉儀是基于普通白光的光學顯微鏡，它的平面分辨率不高。而LSM通過采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長的光波，極大地提高了平面分辨率。并且通過高精度的激光控制技術，獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像，LSM可以進行非常精確的XY平面亞微米測量。LEXT OLS4100達到了0.12μm的平面分辨率。

○ 在Z方向上精確測量亞微米級的高度
 

SEM可以拍攝到超高分辨率的影像，但是無法得到高度信息。LSM采用短波長半導體激光和*的雙共焦光學系統(tǒng)，會刪除未聚焦區(qū)域的信號，只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測為同一高度。同時結合高精度的光柵讀取能力，可以生成高畫質(zhì)的影像，實現(xiàn)精確的3D測量。LEXT OLS4100達到了10nm的高度分辨率。